Metoda dobivanja polisilicija.

1. Učitavanje

Stavite obloženi kvarcni lončić na stol za izmjenu topline, dodajte silicijsku sirovinu, zatim postavite opremu za grijanje, opremu za izolaciju i poklopac peći, ispraznite peć kako biste smanjili tlak u peći na 0,05-0,1 mbar i održavali vakuum. Uvedite argon kao zaštitni plin za održavanje tlaka u peći u osnovi na oko 400-600 mbar.

2. Grijanje

Upotrijebite grafitni grijač za zagrijavanje tijela peći, prvo isparite vlagu adsorbiranu na površini grafitnih dijelova, izolacijski sloj, silikonske sirovine itd., a zatim polako zagrijavajte kako bi temperatura kvarcnog lončića dosegla oko 1200-1300℃. Ovaj proces traje 4-5h.

3. Taljenje

Uvedite argon kao zaštitni plin za održavanje tlaka u peći u osnovi na oko 400-600 mbar. Postupno povećavajte snagu grijanja kako biste prilagodili temperaturu u lončiću na oko 1500℃, a silicijska sirovina počinje se topiti. Zadržite oko 1500℃tijekom procesa taljenja dok se topljenje ne završi. Ovaj proces traje oko 20-22 sata.

4. Rast kristala

Nakon što se silicijska sirovina rastali, snaga grijanja se smanjuje kako bi temperatura lončića pala na oko 1420-1440℃, što je talište silicija. Zatim se kvarcni lončić postupno pomiče prema dolje, ili se izolacijska naprava postupno podiže, tako da kvarcni lončić polako napušta zonu grijanja i ostvaruje izmjenu topline s okolinom; u isto vrijeme, voda prolazi kroz rashladnu ploču kako bi se smanjila temperatura taline s dna, a kristalni silicij prvo se formira na dnu. Tijekom procesa rasta, sučelje čvrsto-tekuće uvijek ostaje paralelno s vodoravnom ravninom sve dok rast kristala ne završi. Ovaj proces traje oko 20-22 sata.

5. Žarenje

Nakon što je rast kristala dovršen, zbog velikog gradijenta temperature između dna i vrha kristala, u ingotu može postojati toplinski stres, koji se lako ponovno razbija tijekom zagrijavanja silicijske pločice i pripreme baterije. . Stoga, nakon završetka rasta kristala, silicijski ingot se drži blizu tališta 2-4 sata kako bi se temperatura silicijevog ingota ujednačila i smanjio toplinski stres.

6. Hlađenje

Nakon što se ingot silicija žari u peći, isključite snagu grijanja, podignite uređaj za toplinsku izolaciju ili potpuno spustite ingot silicija i uvedite veliki protok plina argona u peć kako biste postupno smanjili temperaturu ingota silicija blizu sobna temperatura; u isto vrijeme, tlak plina u peći postupno raste dok ne dosegne atmosferski tlak. Ovaj proces traje oko 10 sati.